Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Heiner Ryssel
Anschrift:
Herr Prof. Dr.-Ing. Heiner Ryssel
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Technische Fakultät
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Technische Fakultät
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Straße:
Cauerstr. 6
Ort:
91058 Erlangen
Tel.:
09131/85-28634
Fax:
09131/85-28698
E-Mail:
Website:
Leistungsprofil:
Praxisrelevante Forschungsgebiete:- Halbleitertechnologie (Prozesstechnik, neue Materialien, Bauelemente, physikalische Analytik, elektrische Charakterisierung, Ionenimplantation)
- Nanoelektronik (Flüchtige und nichtflüchtige Speicher, Nanopartikel, Nanoimprint, Nanosonden)
- Leistungselektronik (Bauelemente auf Si- oder SiC-Basis, leistungselektronische Systeme, Smart Power Technologien, Mechatronik, Leistungselektronik)
- Simulation von Halbleiterbauelementen und -fertigungsprozessen (Bauelemente, Diffusion, Topographie, Lithographie)
- Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden (Fertigungstechnik, Automatisierung, Prozesskontrolle, chemische Analytik)
Praxisrelevante aktuelle Projekte:
- Motorintegrierte Leistungselektronik: Strukturflexibel mechatronisch integrierbare passive elektronische Bauelemente
- Integrierbare Bauelemente zur Sicherung der Qualität von elekronischen Systemkomponenten im Automobil
- Disperse Systeme für Elektronikanwendungen
- Experimentelle bestimmung von thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen im Silicium
- Experimentelle Demonstration eines bipolaren Hochspannungsschalters mit beidseitig gesteuerten Emitterstrukturen
Praxisrelevante Ausstattung/Messmethoden:
- Halbleiterprozesstechnik (1000qm Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0.8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
- Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik, Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)
- Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)
- Nanostrukturierung (Nanoimprint, Focused Ion Beam, Elektronenstrahl-Lithographie)
- Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)
Publikationen:
- Listen aktueller Publikationen entnehmen Sie bitte den Jahresberichten des Lehrstuhls, die über obige Kontaktadressen angefordert werden können.
Kooperationsangebot für die Wirtschaft / Praxis:
Bevorzugte Form der Kooperation:
- Beratung
- Gutachten
- Messung
- FuE
- Bachelor-/Master-/Diplomarbeit
- Doktorarbeit
- Bildung
Angebote der Zusammenarbeit:
- Forschung, Entwicklung und Dienstleistung auf dem Gebiet der Halbleiterprozesstechnik - Entwicklung von Verfahren, Prozessen, Materialien und Bauelementen, Durchführung von Einzelprozessen (Ionenimplantation, Schichtabscheidung - z.B Metalle oder Isolatoren, Strukturierung von Oberflächen), Entwicklung von Teststrukturen und (Leistungs-)Bauelementen, Herstellung von Bauelementen/Schaltungen für Ausbildung, Praktika, etc.
- Halbleiter- und Bauelementemesstechnik - Charakterisierung von Bauelementen und Schaltungen (auf Siliciumscheiben/Wafer Level bzw. vereinzelt), Zuverlässigkeitsanalysen, Fehler- oder Ausfallanalyse, Reparatur von Prototypen oder Kleinserien mittels FIB
- Physikalische und chemische Analytik - Profilmesstechnik, Kontaminationsanalysen an Siliciumscheiben und Prozessmedien, Eichstandards, Lebensdauermesstechnik
- Entwicklung von Halbleiterfertigungsgeräten vom Labormaßstab zur Fertigungsreife - Anlagenkonzepte, Automatisierung, Standardisierung von mechanischen und informationstechnischen Schnittstellen, Integration von inline/in situ-Messtechnik
- Entwicklung von elektronischen Schaltungen und Systemen mit Schwerpunkt auf der Leistungselektronik
Bestehende Kooperationen:
Mit Hochschulen:
ETH Zürich
Prozesssimulation
Universität Osaka
divers
FH Aschaffenburg
Laborpraktikum zur Halbleitertechnologie
Mit anderen Institutionen:
Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen
Enge Zusammenarbeit auf allen Gebieten
kontinuierlich
MTA Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Budapest
div. Gemeinschaftsprojekte
kontinuierlich
Russische Akademie der Wissenschaften
div. Gemeinschaftsprojekte
kontinuierlich
Mit Unternehmen:
Infineon, Qimonda, SiCED, Degussa, NanoWorld Services, ELMOS, ZMD
Über das Fraunhofer IISB bestehen zudem vielfältige Kooperationen mit führenden Bauelemente-, Material- und Geräteherstellern sowie Softwarehäusern
Sonstiges:
Der Lehrstuhl ist daran interessiert, seine umfangreiche prozesstechnische Ausstattung anderen bayerischen Hochschulen für Forschungs- und Lehrzwecke zur Verfügung zu stellen. Konkrete Beispiele sind die Durchführung von Halbleitertechnologie-Praktika für externe Nutzer, die Möglichkeit zur Durchführung von (Teil-)Prozessen in der Technologielinie, sowie die partielle Öffnung von Labors für externe Forschungsgruppen (z.B. Diplomanden/Doktoranden).
Zurück zur Liste
Falls dies ihr Profil ist, können Sie es hier nach dem Login bearbeiten.