Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg
Alfred Lechner
Anschrift:
Herr Prof. Dr. Alfred Lechner
Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg
Allgemeinwissenschaften/Mikrosystemtechnik
Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg
Allgemeinwissenschaften/Mikrosystemtechnik
Straße:
Universitätsstr. 31
Ort:
93053 Regensburg
Tel.:
(0941) 943 1290
Fax:
(0941) 943 1426
Leistungsprofil:
Praxisrelevante Forschungsgebiete:- Entwicklung nasschemischer Prozesse in der HL-Technologie
Praxisrelevante aktuelle Projekte:
- Ozonreinigung im Spinverfahren
- Polymerentfernungen nach Trockenätzverfahren
Praxisrelevante Ausstattung/Messmethoden:
- AAS, GC, FTIRMikroskop, VPDAAS
Publikationen:
- New Single wafer Double Sided Spin Cleaning method UCPSS 2000 Solid State Phenomena vols. 76-77,203
Kooperationsangebot für die Wirtschaft / Praxis:
Bevorzugte Form der Kooperation:
- Beratung
- Gutachten
- Messung
- FuE
- Bildung
Bestehende Kooperationen:
Mit Unternehmen:
Firma SEZ AG Villach
Entwicklung naßchemischer Prozesse
Seit 5 Jahren
EKC Schottland
Test neuer Chemikalienmischungen zu Entfernung von Polymeren bei Via Löchern (Al und Cu)
Seit 2 Jahren
E4 Technologies Zürich
Optimierung von Prozessflüssen in der HL Technologie
Seit 1.3. 2001
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