Hochschule München
Helmut Herberg
Anschrift:
Herr Prof. Dr. Helmut Herberg
Hochschule München
Feinwerk- und Mikrotechnik, Physikalische Technik
Hochschule München
Feinwerk- und Mikrotechnik, Physikalische Technik
Straße:
Schachenmeier Str. 35
Ort:
80636 München
Tel.:
089/126633-0
Fax:
0897126633-99
Website:
Leistungsprofil:
Praxisrelevante Forschungsgebiete:- Mikrosystemtechnik
Praxisrelevante aktuelle Projekte:
- maskenlose optische Lithographie (MOL)
- Laserlithographie
- Schichtdickenmesstechnik (Reflektometrie)
Praxisrelevante Ausstattung/Messmethoden:
- Reinraum mit diverser Halbleitertechologie und vielen Messverfahren
- siehe: http://www.fh-muenchen.de/home/fb/fb06/professoren/herberg/herberg.html
Kooperationsangebot für die Wirtschaft / Praxis:
Bevorzugte Form der Kooperation:
- Messung
- FuE
- Bachelor-/Master-/Diplomarbeit
- Bildung
Angebote der Zusammenarbeit:
- Erstellung von Fotomasken bei gemeinsamen Projekten
- Schichtdickenmesstechnik
- diverse Messtechniken (REM, EDX,AFM,Ellipsometer etc)
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